TGV Sottostrato di vetro Rivestimento a foratura di semiconduttori Imballaggio JGS1 JGS2

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La tecnologia TGV (Through Glass Via), nota anche come tecnologia a fori di vetro, è una tecnica di interconnessione elettrica verticale che penetra i substrati di vetro.Permette connessioni elettriche verticali su substrati di vetroLa tecnologia TSV (Through Silicon Via) è utilizzata per gli interposatori nei substrati a base di silicio, mentre la tecnologia TSV (Through Silicon Via) è utilizzata per gli interposatori nei substrati a base di silicio.Il TGV ha lo stesso scopo nei substrati a base di vetro.
I substrati di vetro rappresentano la prossima generazione di materiali per la base di chip, con il vetro come componente principale.La filiera industriale dei substrati di vetro comprende la produzione, materie prime, attrezzature, tecnologia, imballaggio, test e applicazioni, con segmenti a monte incentrati sulla produzione, materiali e attrezzature.
 

Vantaggi

• Prestazioni elettriche ad alta frequenza superiori
• Facilità di produzione di substrati di vetro ultra-sottili su larga scala
• Efficienza dei costi
• Flusso di processo semplificato
• Forte stabilità meccanica
• Potenziale di ampia applicazione

 
Principi tecnici


a) Preparazione di cialde di vetro
b) Formulare TGV (Through Glass Vias)
(c) Deposito di strato di barriera PVD e strato di sementi, eseguire elettroplatazione a doppio lato per la deposizione di rame
d) Annellazione e CMP (Chemical Mechanical Polishing) per rimuovere lo strato di rame superficiale
e) Rivestimento PVD e fotolitografia
(f) RDL di fabbricazione (strato di ridistribuzione)
(g) Strip photoresist e eseguire incisione Cu/Ti
h) Strato di passivazione della forma (strato dielettrico)
 
Passaggi dettagliati:
 
Il processo di fabbricazione del TGV (Through Glass Via) inizia con l'ispezione del materiale in entrata, seguita dalla formazione mediante metodi che includono sabbiatura, perforazione ad ultrasuoni, incisione umida,incisione a base di ioni a reazione profonda (DRIE), incisione fotosensibile, incisione laser, incisione profonda indotta dal laser e perforazione di scarico focalizzata, successivamente sottoposta a ispezione e pulizia.
 
I viai in vetro (TGV) sono fabbricati utilizzando la tecnologia di incisione al plasma.

 
Dopo che il foro è stato formato, è necessario ispezionare il foro, come la velocità del foro, le sostanze estranee, i difetti del pannello, ecc.
 

1. Via Integrity ¢ rilevare perdite e vie non conduttive. Specifiche di dimensioni dell'apertura: 10/30/50/70/100 μm; il diametro esterno deve superare il diametro interno di ≥ 60%.circolarità (controllo ≥ 95%); tolleranza di diametro (± 5 μm).

2. Materiale estraneo nei Vias ️ Verificare la continuità e individuare residui (rottami di vetro, fibre di carbonio, adesivi, polvere).

3. Difetti del pannello

 
Ancora una volta, la galvanoplastica da basso a alto consente di riempire senza soluzione di continuità il TGV;

 
Infine, incollaggio temporaneo, rottura, lucidatura meccanica chimica (CMP) per esporre il rame, decollaggio e formazione di un vetro trasparente tramite la tecnologia di processo (TGV) scheda di trasferimento riempita di metallo.Durante il processo, sono necessari anche processi di semiconduttori quali la pulizia e le prove.
 
a) Perforazione LIDE
b) Riempimento per elettroplata
c) CMP
d) Formazione RDL frontale
e) Strato poliamidico
(f) Incidenti
g) Collegamento temporaneo
(h) Macinatura di fondo e formazione di RDL
i) Wafer portanti disconnesse
 
 

Applicazioni
Comunicazioni ad alta frequenza (5G/6G chip packaging)
Chip di elaborazione ad alte prestazioni e di IA
Moduli LiDAR autonomi, radar automobilistici, unità di controllo EV.
Dispositivi impiantabili (ad esempio, sonde neurali), biochip ad alta capacità.

Domande e risposte
D1: Che cos'è il vetro TGV?
A1:Vetro TGV: un substrato di vetro con vias conduttive verticali per l'interconnessione di chip ad alta densità, adatto per l'imballaggio ad alta frequenza e 3D.
 
D2: Qual è la differenza tra il substrato di vetro e il substrato di silicio?
A2:

• Materiali: il vetro è un isolante (basse perdite dielettriche), il silicio è un semiconduttore.
• Performance ad alta frequenza: la perdita di segnale del vetro è 10-100 volte inferiore a quella del silicio.
• Costo: il substrato di vetro costa circa 1/8 del silicio.
• TGV (Through Glass Via): un canale verticale metallizzato formato su un substrato di vetro, senza la necessità di un ulteriore strato isolante, e un processo più semplice rispetto al silicio via (TSV).

 
D3: Perché scegliere i substrati a base di vetro?
A3:

• Superiorezza ad alta frequenza: basso Dk/Df riduce al minimo la distorsione del segnale nelle bande 5G/6G mmWave (24-300 GHz).
• Efficienza dei costi: la lavorazione di pannelli di grande area (ad esempio, pannelli di vetro Gen 8.5) riduce i costi del 70% rispetto ai wafer di silicio.
• Stabilità termica e meccanica:Defrazione quasi zero anche a spessori ultra-sottili (< 100 μm).
• Trasparenza ottica: consente l'integrazione elettrica/ottica ibrida (ad esempio, LiDAR, display AR).
• Scalabilità:supporta l'imballaggio a livello di pannello (PLP) per la produzione in serie di IC 3D avanzate.

 
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