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Dettagli dei prodotti

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Wafer del carburo di silicio
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12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio)

12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio)

Marchio: ZMSH
MOQ: 1
prezzo: by case
Dettagli dell' imballaggio: Cartoni personalizzati
Condizioni di pagamento: T/T
Informazione dettagliata
Luogo di origine:
Cina
Politipo:
4h
Tipo di doping:
Tipo N
Diametro:
300 ± 0,5mm
spessore:
Verde: 600 ± 100 µm / Bianco trasparente: 700 ± 100 µm
Orientamento della superficie (residui):
4° verso \<11-20\> ± 0,5°
TTV (Variazione dello spessore totale):
µm del ≤ 10
Capacità di alimentazione:
Per caso
Descrizione di prodotto

Wafer da 12 pollici in carburo di silicio (SiC) – Introduzione al prodotto

Panoramica del prodotto

Il wafer da 12 pollici in carburo di silicio (SiC) rappresenta la prossima generazione di substrati semiconduttori a banda larga, progettati per supportare la produzione su larga scala di dispositivi elettronici di potenza ad alte prestazioni. Rispetto ai wafer SiC convenzionali da 6 e 8 pollici, il formato da 12 pollici aumenta significativamente l'area utilizzabile del chip per wafer, migliora l'efficienza di produzione e offre un forte potenziale per la riduzione dei costi a lungo termine.

 

Il carburo di silicio è un materiale semiconduttore a banda larga con elevata rigidità dielettrica, eccellente conducibilità termica, elevata velocità di deriva degli elettroni saturi e straordinaria stabilità termica. Queste proprietà rendono i wafer SiC da 12 pollici una piattaforma ideale per applicazioni ad alta tensione, alta potenza e alta temperatura.

 

12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio) 0       12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio) 1


Specifiche dei materiali e dei cristalli

  • Materiale: Carburo di silicio (SiC) monocristallino

  • Politipo: 4H-SiC (standard per dispositivi di potenza)

  • Tipo di conducibilità:

    • Tipo N (drogato con azoto)

    • Semi-isolante (personalizzabile)

La crescita di cristalli singoli SiC da 12 pollici richiede un controllo avanzato dei gradienti di temperatura, della distribuzione delle sollecitazioni e dell'incorporazione di impurità. La tecnologia di crescita dei cristalli PVT (Physical Vapor Transport) migliorata viene tipicamente impiegata per ottenere lingotti SiC di grande diametro e a basso difetto.

 

 


12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio) 2

Processo di fabbricazione

La produzione di wafer SiC da 12 pollici prevede una serie di processi di alta precisione:

  1. Crescita di cristalli singoli di grande diametro

  2. Orientamento dei cristalli e taglio dell'ingotto

  3. Rettifica di precisione e assottigliamento del wafer

  4. Lucidatura su un lato o su entrambi i lati

  5. Pulizia avanzata e ispezione completa

Ogni fase è strettamente controllata per garantire un'eccellente planarità, uniformità dello spessore e qualità della superficie.

 


Vantaggi principali

  • Maggiore resa dei dispositivi per wafer: Dimensioni del wafer più grandi consentono più chip per ciclo

  • Maggiore efficienza di produzione: Ottimizzato per le fabbriche di prossima generazione

  • Potenziale di riduzione dei costi: Costo inferiore per dispositivo nella produzione di grandi volumi

  • Prestazioni termiche ed elettriche superiori: Ideale per condizioni operative difficili

  • Forte compatibilità di processo: Adatto per la fabbricazione di dispositivi di potenza SiC tradizionali

 12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio) 3


Applicazioni tipiche

  • Veicoli elettrici (SiC MOSFET, diodi SiC Schottky)

  • Caricabatterie di bordo (OBC) e inverter di trazione

  • Infrastruttura di ricarica rapida e moduli di alimentazione

  • Inverter solari e sistemi di accumulo di energia

  • Azionamenti per motori industriali e sistemi ferroviari

  • Elettronica di potenza di fascia alta e applicazioni di difesa

 

12 pollici (300 mm) SiC (carburo di silicio) 4

 


Specifiche tipiche (personalizzabili)

Articolo Tipo NGrado di produzione (P) Tipo NGrado fittizio (D) Tipo SI Grado di produzione (P)
Politipo 4H 4H 4H
Tipo di drogaggio Tipo N Tipo N /
Diametro 300 ± 0,5 mm 300 ± 0,5 mm 300 ± 0,5 mm
Spessore Verde: 600 ± 100 µm / Bianco-trasparente: 700 ± 100 µm Verde: 600 ± 100 µm / Bianco-trasparente: 700 ± 100 µm Verde: 600 ± 100 µm / Bianco-trasparente: 700 ± 100 µm
Orientamento della superficie (Off-cut) 4° verso ± 0,5° 4° verso ± 0,5° 4° verso ± 0,5°
ID wafer / Piano primario Intaglio (wafer a tutto tondo) Intaglio (wafer a tutto tondo) Intaglio (wafer a tutto tondo)
Profondità dell'intaglio 1,0 – 1,5 mm 1,0 – 1,5 mm 1,0 – 1,5 mm
TTV (Variazione dello spessore totale) ≤ 10 µm NA ≤ 10 µm
MPD (Densità dei micropipetti) ≤ 5 ea/cm² NA ≤ 5 ea/cm²
Resistività Zona di misurazione:Area centrale da 8 pollici Zona di misurazione:Area centrale da 8 pollici Zona di misurazione:Area centrale da 8 pollici
Trattamento della superficie Si-face CMP (Lucidato) Rettifica CMP (Lucidato)
Lavorazione dei bordi Smusso Nessuno smusso Smusso
Scheggiature dei bordi (consentite) Profondità scheggiatura< 0,5 mm Profondità scheggiatura< 1,0 mm Profondità scheggiatura< 0,5 mm
Marcatura laser Marcatura lato C / In base alle esigenze del cliente Marcatura lato C / In base alle esigenze del cliente Marcatura lato C / In base alle esigenze del cliente
Area politipo (luce polarizzata) Nessun politipo (esclusione dei bordi 3 mm) Area polimorfismo< 5% (esclusione dei bordi 3 mm) Nessun politipo (esclusione dei bordi 3 mm)
Fessure (luce ad alta intensità) Nessuna fessura (esclusione dei bordi 3 mm) Nessuna fessura (esclusione dei bordi 3 mm) Nessuna fessura (esclusione dei bordi 3 mm)

 


Domande frequenti (FAQ)

Q1: I wafer SiC da 12 pollici sono pronti per la produzione di massa?
A: I wafer SiC da 12 pollici sono attualmente nella fase iniziale di industrializzazione e sono in fase di valutazione attiva per la produzione pilota e di volume da parte dei principali produttori di tutto il mondo.

 

Q2: Quali sono i vantaggi dei wafer SiC da 12 pollici rispetto ai wafer da 8 pollici?
A: Il formato da 12 pollici aumenta significativamente la produzione di chip per wafer, migliora la produttività della fabbrica e offre vantaggi in termini di costi a lungo termine.

 

Q3: Le specifiche dei wafer possono essere personalizzate?
A: Sì, parametri come il tipo di conducibilità, lo spessore, il metodo di lucidatura e il grado di ispezione possono essere personalizzati.