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Wafer del carburo di silicio
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Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD

Marchio: ZMSH
MOQ: 1
prezzo: by case
Dettagli dell' imballaggio: Cartoni personalizzati
Condizioni di pagamento: T/t
Informazione dettagliata
Luogo di origine:
Cina
Struttura cristallina:
4H-SIC, 6H-SIC
Resistività:
Tipo conduttivo: 0,01 - 100 ω · cm ; Tipo semi -insulante (HPSI): ≥ 10⁹ ω · cm
Conducibilità termica:
~ 490 W/M · K.
Rugosità superficiale:
Ra < 0,5 Nm
Bandgap:
~ 3,2 eV (per 4H-SIC)
Campo elettrico di rottura:
~ 2,8 mV/cm (per 4H-SIC)
Capacità di alimentazione:
Per caso
Evidenziare:

4H-N SiC epitaxial wafer

,

6H-N silicon carbide wafer

,

SiC wafer for MOS SBD

Descrizione di prodotto

Rapporto del portafoglio di prodotti per i substrati di SiC e gli epi-wafer

 

 

Offriamo un portafoglio completo di substrati e wafer in carburo di silicio (SiC) di alta qualità, che coprono più politipi e tipi di doping (compreso il tipo 4H-N [conduttore di tipo N],Tipo 4H-P [conduttore di tipo P], 4H-HPSI tipo [High-Purity Semi-Isolating], e 6H-P tipo [P-type conductive]), con diametri che vanno da 4 pollici, 6 pollici, 8 pollici fino a 12 pollici.Forniamo servizi di crescita di wafer epitaxiali ad alto valore aggiunto , che consente un controllo preciso dello spessore dell'epilastro (120 μm), della concentrazione di doping e della densità dei difetti.


Ogni substrato di SiC e ogni wafer epitaxiale sono sottoposti a rigorose ispezioni in linea (ad esempio, densità dei micropipidi <0,1 cm−2, rugosità superficiale Ra <0).2 nm) e una caratterizzazione elettrica completa (come il test CV), mappatura della resistività) per garantire un'eccezionale uniformità e prestazioni cristalline.fotodetettori), le nostre linee di prodotti per substrati SiC e wafer epitaxiali soddisfano i requisiti applicativi più esigenti per affidabilità, stabilità termica e resistenza alla rottura.

 

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 0  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 1  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 2

 

 


- Sì.

Substrato SiC: caratteristiche e applicazioni del tipo 4H-N

 

 

Il substrato di carburo di silicio di tipo 4H-N mantiene prestazioni elettriche stabili e robustezza termica in condizioni di alta temperatura e campo elettrico elevato, grazie al suo ampio intervallo di banda (~ 3,3 mm).26 eV) e elevata conduttività termica (~370-490 W/m·K).

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 3  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 4  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 5

 


Caratteristiche fondamentali:

  • Doping di tipo N: il doping ad azoto controllato con precisione produce concentrazioni di vettore comprese tra 1 × 1016 e 1 × 1019 cm−3 e mobilità elettronica a temperatura ambiente fino a circa 900 cm2/V·s,che aiuta a ridurre al minimo le perdite di conduzione.

  • Bassa densità di difetto: la densità delle micropipette è tipicamente < 0,1 cm−2, e la densità di lussazione del piano basale è < 500 cm−2,fornendo una base per un elevato rendimento del dispositivo e un'integrità cristallina superiore.

  • Un'eccellente uniformità: il range di resistività è di 0,01·10 Ω·cm, lo spessore del substrato è di 350·650 μm, con tolleranze di doping e spessore controllabili entro il ±5%.

- Sì.

 

Specificità del Wafer SiC da 6 pollici di tipo 4H-N

Immobili Grado di produzione MPD zero (grado Z) Grado D (D Grade)
Grado Grado di produzione MPD zero (grado Z) Grado D (D Grade)
Diametro 149.5 mm - 150,0 mm 149.5 mm - 150,0 mm
di polietilene 4H 4H
Spessore 350 μm ± 15 μm 350 μm ± 25 μm
Orientazione dei wafer Al di fuori dell'asse: 4,0° verso <1120> ± 0,5° Al di fuori dell'asse: 4,0° verso <1120> ± 0,5°
Densità di micropipe ≤ 0,2 cm2 ≤ 15 cm2
Resistenza 0.015 - 0.024 Ω·cm 0.015 - 0.028 Ω·cm
Orientazione primaria piatta [10-10] ± 50° [10-10] ± 50°
Lunghezza piana primaria 475 mm ± 2,0 mm 475 mm ± 2,0 mm
Esclusione di bordo 3 mm 3 mm
LTV/TIV/Arco/Warp ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 60 μm
Roverezza Ra polacco ≤ 1 nm Ra polacco ≤ 1 nm
CMP Ra ≤ 0,2 nm ≤ 0,5 nm
Fessure di bordo a causa della luce ad alta intensità Lunghezza cumulativa ≤ 20 mm lunghezza singola ≤ 2 mm Lunghezza cumulativa ≤ 20 mm lunghezza singola ≤ 2 mm
Piastre esattoriche con luce ad alta intensità Superficie cumulata ≤ 0,05% Superficie cumulata ≤ 0,1%
Aree politipiche per luce ad alta intensità Superficie cumulata ≤ 0,05% Superficie cumulata ≤ 3%
Inclusioni di carbonio visivo Superficie cumulata ≤ 0,05% Superficie cumulata ≤ 5%
La superficie del silicio è graffiata dalla luce ad alta intensità   Lunghezza cumulata ≤ 1 diametro di wafer
Chips di bordo con luce ad alta intensità Nessuna ammissibile larghezza e profondità ≥ 0,2 mm 7 consentiti, ≤ 1 mm ciascuno
Dislocazione della vite di filettatura < 500 cm3 < 500 cm3
Contaminazione della superficie del silicio da luce ad alta intensità    
Imballaggio Cassetta a più wafer o contenitore a una sola wafer Cassetta a più wafer o contenitore a una sola wafer

 

 

Specificità del wafer SiC tipo 8 pollici 4H-N

Immobili Grado di produzione MPD zero (grado Z) Grado D (D Grade)
Grado Grado di produzione MPD zero (grado Z) Grado D (D Grade)
Diametro 199.5 mm - 200.0 mm 199.5 mm - 200.0 mm
di polietilene 4H 4H
Spessore 500 μm ± 25 μm 500 μm ± 25 μm
Orientazione dei wafer 40,0° verso < 110> ± 0,5° 40,0° verso < 110> ± 0,5°
Densità di micropipe ≤ 0,2 cm2 ≤ 5 cm2
Resistenza 0.015 - 0,025 Ω·cm 0.015 - 0.028 Ω·cm
Nobile orientamento    
Esclusione di bordo 3 mm 3 mm
LTV/TIV/Arco/Warp ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 35 μm / 70 μm ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 35 μm / 100 μm
Roverezza Ra polacco ≤ 1 nm Ra polacco ≤ 1 nm
CMP Ra ≤ 0,2 nm ≤ 0,5 nm
Fessure di bordo a causa della luce ad alta intensità Lunghezza cumulativa ≤ 20 mm lunghezza singola ≤ 2 mm Lunghezza cumulativa ≤ 20 mm lunghezza singola ≤ 2 mm
Piastre esattoriche con luce ad alta intensità Superficie cumulata ≤ 0,05% Superficie cumulata ≤ 0,1%
Aree politipiche per luce ad alta intensità Superficie cumulata ≤ 0,05% Superficie cumulata ≤ 3%
Inclusioni di carbonio visivo Superficie cumulata ≤ 0,05% Superficie cumulata ≤ 5%
La superficie del silicio è graffiata dalla luce ad alta intensità   Lunghezza cumulata ≤ 1 diametro di wafer
Chips di bordo con luce ad alta intensità Nessuna ammissibile larghezza e profondità ≥ 0,2 mm 7 consentiti, ≤ 1 mm ciascuno
Dislocazione della vite di filettatura < 500 cm3 < 500 cm3
Contaminazione della superficie del silicio da luce ad alta intensità    
Imballaggio Cassetta a più wafer o contenitore a una sola wafer Cassetta a più wafer o contenitore a una sola wafer

 

 

Applicazioni di destinazione:

  • Utilizzato principalmente per dispositivi elettronici di potenza come i MOSFET SiC, i diodi Schottky e i moduli di potenza, ampiamente utilizzati nei motori dei veicoli elettrici, negli inverter solari, negli azionamenti industriali,e sistemi di trazioneLe sue proprietà lo rendono inoltre adatto per dispositivi RF ad alta frequenza nelle stazioni base 5G.

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 6

 

 


 

Substrato SiC: 4H tipo semisolatore Caratteristiche e applicazioni

 

 

Il substrato SiC semisolatore 4H possiede una resistenza estremamente elevata (in genere ≥ 109 Ω·cm), che sopprime efficacemente la conduzione parassitaria durante la trasmissione del segnale ad alta frequenza,che lo rende una scelta ideale per la produzione di dispositivi ad alta frequenza radio (RF) e microonde.

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 7  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 8  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 9

 


Caratteristiche fondamentali:

  • Tecniche di controllo di precisione: le tecniche avanzate di crescita e di lavorazione dei cristalli consentono un controllo preciso della densità dei micropipi, della struttura monocristallina, del contenuto di impurità e della resistività.garantire un'elevata purezza e qualità del substrato.
  • Alta conduttività termica: simile al SiC conduttivo, possiede eccellenti capacità di gestione termica, adatte ad applicazioni ad alta densità di potenza.
  • Alta qualità superficiale: la rugosità superficiale può raggiungere una piattezza a livello atomico (Ra < 0,5 nm), soddisfacendo i requisiti per una crescita epitaxiale di alta qualità.

- Sì.

 

Specifica del substrato SiC da 6 pollici 4H

Immobili Grado di produzione MPD zero (grado Z) Grado D (D Grade)
Diametro (mm) 145 mm - 150 mm 145 mm - 150 mm
di polietilene 4H 4H
Spessore (mm) 500 ± 15 500 ± 25
Orientazione dei wafer Su asse: ±0.0001° Su asse: ±0,05°
Densità di micropipe ≤ 15 cm-2 ≤ 15 cm-2
Resistenza (Ωcm) ≥ 10E3 ≥ 10E3
Orientazione primaria piatta (0-10)° ± 5,0° (10-10° ± 5,0°)
Lunghezza piana primaria Intaglio Intaglio
Esclusione del bordo (mm) ≤ 2,5 μm / ≤ 15 μm ≤ 5,5 μm / ≤ 35 μm
LTV / Bowl / Warp ≤ 3 μm ≤ 3 μm
Roverezza Ra polacco ≤ 1,5 μm Ra polacco ≤ 1,5 μm
Chips di bordo con luce ad alta intensità ≤ 20 μm ≤ 60 μm
Piastre di riscaldamento con luce ad alta intensità Cumulativo ≤ 0,05% Accumulato ≤ 3%
Aree politipiche per luce ad alta intensità Inclusioni di carbonio visivo ≤ 0,05% Accumulato ≤ 3%
La superficie del silicio è graffiata dalla luce ad alta intensità ≤ 0,05% Accumulato ≤ 4%
Chip di bordo con luce ad alta intensità (dimensione) Non consentito > 02 mm Larghezza e profondità Non consentito > 02 mm Larghezza e profondità
La dilatazione della vite ausiliaria ≤ 500 μm ≤ 500 μm
Contaminazione della superficie del silicio da luce ad alta intensità ≤ 1 x 10^5 ≤ 1 x 10^5
Imballaggio Cassette a più wafer o contenitore a una singola wafer Cassette a più wafer o contenitore a una singola wafer

 

 

Specifica del substrato SiC semisolatore da 4 pollici 4H

Parametro Grado di produzione MPD zero (grado Z) Grado D (D Grade)
Proprietà fisiche    
Diametro 99.5 mm ️ 100.0 mm 99.5 mm ️ 100.0 mm
di polietilene 4H 4H
Spessore 500 μm ± 15 μm 500 μm ± 25 μm
Orientazione dei wafer Su asse: < 600h > 0,5° Su asse: <000h > 0,5°
Proprietà elettriche    
Densità di micropipe (MPD) ≤ 1 cm−2 ≤ 15 cm−2
Resistenza ≥ 150 Ω·cm ≥ 1,5 Ω·cm
Tolleranze geometriche    
Orientazione primaria piatta (0x10) ± 5,0° (0x10) ± 5,0°
Lunghezza piana primaria 52.5 mm ± 2,0 mm 52.5 mm ± 2,0 mm
Lunghezza piatta secondaria 180,0 mm ± 2,0 mm 180,0 mm ± 2,0 mm
Orientamento piatto secondario 90° CW dal primo piatto ± 5,0° (Si verso l'alto) 90° CW dal primo piatto ± 5,0° (Si verso l'alto)
Esclusione di bordo 3 mm 3 mm
LTV / TTV / Bow / Warp ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm ≤ 10 μm / ≤ 15 μm / ≤ 25 μm / ≤ 40 μm
Qualità della superficie    
Roverezza superficiale (Ra polacca) ≤ 1 nm ≤ 1 nm
Roverezza superficiale (CMP Ra) ≤ 0,2 nm ≤ 0,2 nm
Fessure di bordo (luce ad alta intensità) Non consentito Lunghezza cumulativa ≥10 mm, singola crepa ≤2 mm
Difetti delle lastre esagonali ≤ 0,05% di superficie cumulata ≤ 0,1% di superficie cumulata
Aree di inclusione dei politipi Non consentito ≤ 1% di superficie cumulata
Inclusioni di carbonio visivo ≤ 0,05% di superficie cumulata ≤ 1% di superficie cumulata
Rischi sulla superficie del silicio Non consentito lunghezza cumulativa del diametro della wafer ≤ 1
Chips di bordo Nessuna autorizzata (larghezza/profondità ≥ 0,2 mm) ≤ 5 schegge (ciascuna ≤ 1 mm)
Contaminazione della superficie del silicio Non specificato Non specificato
Imballaggio    
Imballaggio Contenitori per cassette a più wafer o contenitori a una singola wafer con una lunghezza massima di 20 mm o più

 

 

Applicazioni di destinazione:

  • Principalmente applicato nel campo RF ad alta frequenza, come gli amplificatori di potenza nei sistemi di comunicazione a microonde, i radar a fascia e i rilevatori wireless.

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 10

 

 


 

Wafer epitaxial SiC: caratteristiche e applicazioni del tipo 4H-N

 

 

Lo strato omeopitaxiale coltivato sul substrato SiC di tipo 4H-N fornisce uno strato attivo ottimizzato per la produzione di dispositivi ad alta potenza e RF.Il processo epitassiale consente un controllo preciso dello spessore dello strato, concentrazione di doping e qualità cristallina.
- Sì.

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 11  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 12  Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 13

 

 

Caratteristiche fondamentali:

  • Parametri elettrici personalizzabili: spessore (variabile tra 5 e 15 μm) e concentrazione di doping (ad es.1E15 - 1E18 cm−3) dello strato epitassiale può essere personalizzato in base alle esigenze del dispositivo, con una buona uniformità.

  • Bassa densità di difetti: le tecniche avanzate di crescita epitaxiale (come la CVD) possono controllare efficacemente la densità dei difetti epitaxiali come i difetti di carota e i difetti triangolari,miglioramento dell'affidabilità del dispositivo.

  • Inheritance of Substrate Advantages : Lo strato epitaxiale eredita le eccellenti proprietà del substrato SiC di tipo 4H-N, tra cui ampio intervallo di banda, campo elettrico ad alta ripartizione,e elevata conduttività termica..

 

 

Specificità assiale dell'epitelio di tipo N da 6 pollici
  Parametro unità Z-MOS
Tipo Conduttività / Dopante - Tipo N / Azoto
Strato tampone Spessore dello strato tampone - Sì. 1
Tolleranza dello spessore dello strato tampone % ± 20%
Concentrazione dello strato tampone cm-3 1.00E+18
Tolleranza di concentrazione dello strato tampone % ± 20%
1° strato epi Spessore dello strato epi - Sì. 11.5
Uniformità dello spessore dello strato epi % ± 4%
Epi Strati Spessore Tolleranza
Max, Min) /Spec)
% ± 5%
Concentrazione dello strato epi cm-3 1E 15~ 1E 18
Tolleranza di concentrazione dello strato epi % 6%
Uniformità della concentrazione dello strato epi (σ)
/mean)
% ≤ 5%
Uniformità della concentrazione dello strato epi
< (max-min) / (max+min)
% ≤ 10%
Forma di wafer epitexale Inchinati. - Sì. ≤ ± 20
WARP - Sì. ≤ 30
TTV - Sì. ≤ 10
LTV - Sì. ≤ 2
Caratteristiche generali Lunghezza dei graffi mm ≤ 30 mm
Chips di bordo - Non esistono
Definizione dei difetti   ≥97%
(misurato con 2*2,
I difetti mortali includono:
Micropipe /Grandi pozzi, carota, triangolare
Contaminazione da metalli atomi/cm2 D f f l i
≤ 5E10 atomi/cm2 (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn,
Hg, Na, K, Ti, Ca & Mn)
Pacco Specificità dell'imballaggio pezzi/scatola contenitori di wafer multi-cassetta o singolo wafer

 

 

Specifica dell'epitassiale di tipo N da 8 pollici
  Parametro unità Z-MOS
Tipo Conduttività / Dopante - Tipo N / azoto
Strato tampone Spessore dello strato tampone - Sì. 1
Tolleranza dello spessore dello strato tampone % ± 20%
Concentrazione dello strato tampone cm-3 1.00E+18
Tolleranza di concentrazione dello strato tampone % ± 20%
1° strato epi Spessore medio degli strati epi - Sì. 8 ~ 12
Uniformità dello spessore degli Epi strati (σ/media) % ≤ 2.0
Tolleranza di spessore degli Epi strati (Spec -Max,Min) /Spec) % ± 6
Epi strati doping medio netto cm-3 8E+15 ~2E+16
Uniformità dopante netta degli Epi strati (σ/media) % ≤ 5
Epi Strati Tolleranza al Doping Netto % ± 100
Forma di wafer epitexale Mi) /S)
Warp.
- Sì. ≤ 500
Inchinati. - Sì. ± 300
TTV - Sì. ≤ 100
LTV - Sì. ≤ 4,0 (10 mm × 10 mm)
Generale
Caratteristiche
Rischi - Lunghezza cumulata ≤ 1/2 diametro del wafer
Chips di bordo - ≤ 2 schegge, ciascuna con un raggio ≤ 1,5 mm
Contaminazione da metalli superficiali atomi/cm2 ≤ 5E10 atomi/cm2 (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn,
Hg, Na, K, Ti, Ca & Mn)
Ispezione dei difetti % ≥ 96.0
(2X2 I difetti includono Micropipe/Grandi pozzi,
Carotte, difetti triangolari, precipitazioni,
Lineare/IGSF-s, BPD)
Contaminazione da metalli superficiali atomi/cm2 ≤ 5E10 atomi/cm2 (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn,
Hg, Na, K, Ti, Ca & Mn)
Pacco Specificità dell'imballaggio - contenitori di wafer multi-cassetta o singolo wafer

 

- Sì.

Applicazioni di destinazione:

  • È il materiale di base per la fabbricazione di dispositivi di alimentazione ad alta tensione (come MOSFET, IGBT, diodi Schottky), ampiamente utilizzati nei veicoli elettrici,generazione di energia da fonti rinnovabili (inverter fotovoltaici), motori industriali, e campi aerospaziali.

 

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 14

 

 


 

Sulla ZMSH

 

 

ZMSH svolge un ruolo chiave nel settore dei substrati a carburo di silicio (SiC), concentrandosi sulla ricerca e sviluppo indipendenti e sulla produzione su larga scala di materiali critici.Padroneggiare le tecnologie di base che coprono l'intero processo dalla crescita dei cristalliDal taglio alla lucidatura, la ZMSH possiede il vantaggio della catena industriale di un modello integrato di produzione e commercio, che consente ai clienti servizi di lavorazione personalizzati flessibili.

 

ZMSH può fornire substrati di SiC di varie dimensioni, dal diametro di 2 pollici al diametro di 12 pollici.Tipo 4H-HPSI (semi-isolatore ad alta purezza), tipo 4H-P e tipo 3C-N, che soddisfano i requisiti specifici di diversi scenari di applicazione.

 

 

Wafer SiC Wafer Epitassiale SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N per MOS o SBD 15

 

 


 

Domande frequenti sui tipi di substrato SiC - Sì.

 

 

 

Q1: Quali sono i tre principali tipi di substrati SiC e le loro applicazioni principali?
A1: i tre tipi primari sono di tipo 4H-N (conduttori) per dispositivi di alimentazione come MOSFET e EV,4H-HPSI (semi-isolamento ad alta purezza) per dispositivi RF ad alta frequenza quali amplificatori di stazioni base 5G, e tipo 6H che viene utilizzato anche in alcune applicazioni ad alta potenza e ad alta temperatura.
- Sì.

Q2: Qual è la differenza fondamentale tra i substrati di tipo 4H-N e i substrati di SiC semi-isolatori?
A2: La differenza fondamentale sta nella loro resistività elettrica; il tipo 4H-N è conduttivo con bassa resistività (ad esempio, 0,01-100 Ω·cm) per il flusso di corrente nell'elettronica di potenza,mentre i tipi semi-isolatori (HPSI) presentano una resistenza estremamente elevata (≥ 109 Ω·cm) per ridurre al minimo la perdita di segnale nelle applicazioni a radiofrequenza.

 

Q3: Qual è il vantaggio chiave delle onde HPSI SiC nelle applicazioni ad alta frequenza come le stazioni base 5G?
A3: le onde HPSI SiC offrono una resistenza estremamente elevata (> 109 Ω·cm) e una bassa perdita di segnale;rendendoli substrati ideali per amplificatori di potenza RF basati su GaN nelle infrastrutture 5G e nelle comunicazioni satellitari.

 

 

 

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