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Placca portante SiC Conduttività termica Resistenza alla corrosione Wafer MOCVD
Dettagli:
| Luogo di origine: | Cina |
| Marca: | ZMSH |
Termini di pagamento e spedizione:
| Termini di pagamento: | T/T |
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Informazioni dettagliate |
Descrizione di prodotto
Introduzione della piastra portante di SiC
La piastra portante SiC è un substrato di supporto di precisione realizzato in carburo di silicio di alta purezza.e eccezionale resistenza alla corrosione chimica. Con una superficie lavorata e lucidata con precisione, le piastre portanti di SiC sono ampiamente utilizzate nella lavorazione dei wafer, nell'epitaxia MOCVD, nell'anniazione ad alta temperatura e in altre applicazioni impegnative.Rispetto ai materiali tradizionali come il quarzo o l'AlNIl SiC offre una stabilità termica superiore e una durata di vita prolungata.
Principio di funzionamentodi piastre portanti di SiC
In processi ad alta temperatura, la piastra portante di SiC funge da supporto per il trasporto di wafer o materiali a film sottile.migliorare la stabilità e l'uniformità dei processiInoltre, grazie alla sua durezza e alla sua inertà chimica, la piastra mantiene l'integrità strutturale anche in ambienti corrosivi, garantendo la purezza del prodotto e la sicurezza delle attrezzature.
Applicazioni tipichedi piastre portanti di SiC
- Supporto del substrato nell'epitaxia della MOCVD
- Trattamento termico di semiconduttori a banda larga come SiC e GaN
- Processi di ricottura, sinterizzazione e diffusione per wafer
- Disperditori e trasportatori di calore nella fabbricazione di chip LED
- Trasporto e supporto dei materiali in ambienti ad alto vuoto o corrosivi
Domande e rispostedi piastre portanti di SiC
Q1: Qual è la temperatura massima di funzionamento delle piastre portanti di SiC?
R: Le piastre di SiC possono in genere resistere a temperature fino a 1600°C o superiori, a seconda dell'ambiente di lavorazione e della durata.
D2: Come si confronta il SiC con gli AlN o i portatori di quarzo?
R: Il SiC offre una maggiore conduttività termica, una resistenza superiore agli urti termici e una durata di vita più lunga, il che lo rende ideale per applicazioni difficili e di uso ripetuto.
Q3: La dimensione e la forma possono essere personalizzate?
R: Sì, offriamo dimensioni personalizzate, spessori, modelli di buchi e finiture superficiali per soddisfare le esigenze specifiche delle attrezzature e dei processi.
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