Manica a Wafer SiC per la manipolazione dei Wafer, compatibile con la stanza pulita, resistente alla corrosione, interfaccia personalizzabile

Introduzione al prodotto della Wafer Hand
 

La mano del Wafer SiC è un effetto finale progettato per la manipolazione di wafer con alta durezza e stabilità termica.offre un'eccellente resistenza meccanica, resistenza alla corrosione, durata termica e prestazioni ultra-pulite.e zaffiro in ambienti a camera pulita e ad alta temperatura.

Struttura e principio di funzionamento della manica a wafer

La mano del wafer SiC sostiene i wafer dal bordo o dal retro utilizzando strutture simili a forcelle o piattaforme personalizzate.o le maniglie meccaniche consentono il trasferimento senza contatto o con minimo contattoLa sua elevata rigidità strutturale garantisce la stabilità dimensionale durante il trasporto, consentendo un posizionamento preciso del wafer e un rischio minimo di contaminazione.

Campo di applicazione della Wafer Hand

Le mani a wafer sono ampiamente utilizzate nei seguenti processi di semiconduttori e optoelettronici:

1.Sistemi di trasporto di wafer (ad esempio, EFEM, caricatore FOUP, interfacce SMIF pod)

2.carico/scarico di wafer per litografia, incisione, impianto ionico, lavorazione termica
3Strumenti per l'ispezione, la selezione e la classificazione dei wafer

4- Collegamento a matrici, taglio, imballaggio e stazioni di prova finali

5- manipolazione di precisione nei pannelli di visualizzazione, MEMS e produzione di biochip

6.Adatto per Si, SiC, GaAs, GaN, zaffiro e altri substrati

Vantaggi del prodottodi WAffer Hand

D2: La mano del wafer graffierà o contaminerà il wafer?
R: No. La mano è fatta di materiali resistenti all'usura e a basso contenuto di particelle, con bordi a cammi e conformi ai requisiti della stanza pulita.

D3: Può essere integrato con sistemi robotici?
R: Sì, supporta varie interfacce robotiche (ad esempio, standard SECS/GEM, SEMI) e può essere personalizzato per sistemi specifici.

D4: Qual è la durata di vita prevista e i requisiti di manutenzione?
A: progettato per oltre 1 milione di cicli di funzionamento con manutenzione minima; è sufficiente una pulizia periodica.

Q5: Può essere personalizzato in base a diversi materiali di wafer (Si, SiC, Zaffiro, ecc.)?
R: Sì. Offriamo disegni personalizzati ottimizzati per vari materiali di wafer con strutture di supporto appropriate.

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