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Manica a Wafer SiC per la manipolazione dei Wafer, compatibile con la stanza pulita, resistente alla corrosione, interfaccia personalizzabile
Dettagli:
| Marca: | ZMSH |
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Informazioni dettagliate |
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| Densità: | 30,21 g/cm3 | Durezza: | Durezza 2500Vickers |
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| Dimensione del grano: | 2 ~ 10 μm | Purezza chimica: | 99.99995% |
| Capacità termica: | 640J·kg-1 ·K-1 | Temperatura di sublimazione: | 2700°C |
Descrizione di prodotto
Introduzione al prodotto della Wafer Hand
La mano del Wafer SiC è un effetto finale progettato per la manipolazione di wafer con alta durezza e stabilità termica.offre un'eccellente resistenza meccanica, resistenza alla corrosione, durata termica e prestazioni ultra-pulite.e zaffiro in ambienti a camera pulita e ad alta temperatura.
Struttura e principio di funzionamento della manica a wafer
La mano del wafer SiC sostiene i wafer dal bordo o dal retro utilizzando strutture simili a forcelle o piattaforme personalizzate.o le maniglie meccaniche consentono il trasferimento senza contatto o con minimo contattoLa sua elevata rigidità strutturale garantisce la stabilità dimensionale durante il trasporto, consentendo un posizionamento preciso del wafer e un rischio minimo di contaminazione.
Campo di applicazione della Wafer Hand
Le mani a wafer sono ampiamente utilizzate nei seguenti processi di semiconduttori e optoelettronici:
1.Sistemi di trasporto di wafer (ad esempio, EFEM, caricatore FOUP, interfacce SMIF pod)
2.carico/scarico di wafer per litografia, incisione, impianto ionico, lavorazione termica
3Strumenti per l'ispezione, la selezione e la classificazione dei wafer
4- Collegamento a matrici, taglio, imballaggio e stazioni di prova finali
5- manipolazione di precisione nei pannelli di visualizzazione, MEMS e produzione di biochip
6.Adatto per Si, SiC, GaAs, GaN, zaffiro e altri substrati
Vantaggi del prodottodi WAffer Hand
R: Supporta wafer da 2 a 12 pollici; sono disponibili anche dimensioni personalizzate.
D2: La mano del wafer graffierà o contaminerà il wafer?
R: No. La mano è fatta di materiali resistenti all'usura e a basso contenuto di particelle, con bordi a cammi e conformi ai requisiti della stanza pulita.
D3: Può essere integrato con sistemi robotici?
R: Sì, supporta varie interfacce robotiche (ad esempio, standard SECS/GEM, SEMI) e può essere personalizzato per sistemi specifici.
D4: Qual è la durata di vita prevista e i requisiti di manutenzione?
A: progettato per oltre 1 milione di cicli di funzionamento con manutenzione minima; è sufficiente una pulizia periodica.
Q5: Può essere personalizzato in base a diversi materiali di wafer (Si, SiC, Zaffiro, ecc.)?
R: Sì. Offriamo disegni personalizzati ottimizzati per vari materiali di wafer con strutture di supporto appropriate.
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