Pin di sollevamento di zaffiro di alta purezza per la manipolazione di wafer semiconduttori

Introduzione del prodotto

Lo stiletto di saffiro è un stiletto di saffiro monocristallino di alta purezza, utilizzato principalmente nelle attrezzature di produzione di semiconduttori per sostenere e spostare i wafer.Grazie alla sua eccezionale resistenza alle alte temperature, stabilità chimica ed estrema durezza, il perno di saffiro può mantenere prestazioni stabili in ambienti difficili.prolunga la durata dell'apparecchiatura, e migliora il rendimento complessivo del processo.

Principio fondamentale

Il principio di base di un perno elevatore in zaffiro è quello di sollevare o abbassare con precisione i wafer durante la lavorazione per garantire un corretto posizionamento.Di solito, più perni di zaffiro per sollevare il wafer funzionano insieme per evitare che il wafer si deformi o si danneggi.Poiché il perno elevatore in zaffiro resiste alle alte temperature, al vuoto e agli ambienti corrosivi, offre una durata di vita molto più lunga e una maggiore affidabilità rispetto ai materiali convenzionali.

Specificità

Applicazioni

Gli stivali di sollevamento di zaffiro sono ampiamente utilizzati nelle apparecchiature per l'incisione (Etch), la deposizione chimica di vapore (CVD), la deposizione fisica di vapore (PVD) e la deposizione dello strato atomico (ALD).e raffreddamentoIn particolare nei dispositivi optoelettronici, nella produzione di MEMS e nella fabbricazione di semiconduttori di potenza.il perno di saffiro è diventato un componente centrale.

Domande e risposte

D1: Perché scegliere un alzo in zaffiro invece di ceramica o metallo?

R1: Il perno elevatore in zaffiro offre una maggiore resistenza chimica e stabilità termica, in grado di funzionare a lungo termine in gas corrosivi e ambienti ad alta temperatura.

D2: Il pin di sollevamento di zaffiro genera particelle durante l'uso?

A2: A causa della sua superficie estremamente liscia, il perno di sollevamento in zaffiro ha un rischio estremamente basso di generazione di particelle, il che lo rende ideale per processi ultra-puliti.

D3: Le diverse macchine richiedono perni di saffiro personalizzati?

R3: Sì, a seconda del modello della macchina e dei requisiti del processo, il perno di sollevamento in zaffiro deve spesso essere personalizzato per dimensioni, forma e interfaccia di connessione.

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