Pini di saffiro per semiconduttori Pini di saffiro di alta purezza

Pini di saffiro per semiconduttori Pini di saffiro di alta purezza

Riassunto di Sapphire lift pin

Gli stivali da sollevamento a zaffiro sono componenti di precisione ampiamente utilizzati in

apparecchiature per la lavorazione dei semiconduttori, in particolare per la movimentazione di wafer,sistemi di crescita e di deposizione quali MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) e altri sistemi ad alta temperatura, vuoto,o ambienti corrosiviProdotti in ossido di alluminio monocristallino (Al2O3), noto anche come zaffiro sintetico, questi perni di sollevamento sono apprezzati per la loro eccezionale durezza, stabilità termica, resistenza chimica,e durabilità.

Proprietà dell'anello di sollevamento Sapphire

Gli stivali di zaffiro sono spesso progettati su misura

Vantaggi degli appendiabiti di zaffiro

a.Resistenza alle alte temperature

Lo zaffiro mantiene la sua resistenza meccanica a temperature superiori a 1.500 ° C, il che lo rende adatto per reattori epitaxiali e camere di deposizione in cui altri materiali possono deformarsi, ossidarsi o degradarsi.

b. Stabilità chimica

Lo zaffiro è chimicamente inerte nei gas reattivi e corrosivi come H2, NH3 e HF, garantendo prestazioni a lungo termine in CVD e ambienti di incisione.

c. Estrema durezza

L'elevata durezza superficiale resiste all'usura e agli graffi causati dal contatto con il wafer e dall'azione meccanica, riducendo al minimo la produzione di particelle e la contaminazione.

d. Precisione dimensionale

Lo zaffiro può essere lavorato con tolleranze strette (± 1 μm), garantendo un'altezza di sollevamento consistente del wafer, precisione di posizionamento e affidabilità dell'allineamento.

e.Generazione di particelle a basso contenuto

A differenza della ceramica o dei metalli rivestiti che possono sgonfiarsi o fuoriuscire gas durante il ciclo termico, lo zaffiro non produce particelle, il che è fondamentale per ambienti di processo ultra-puri.

f.Lunga durata di vita

La resistenza all'usura e la stabilità degli zaffiri in condizioni estreme contribuiscono a una minore frequenza di manutenzione e a un tempo di funzionamento più lungo delle apparecchiature.

Immagine fisica di un alzo di zaffiro

Applicazioni degli appendiabiti di zaffiro

Gli spilli elevatori di zaffiro sono utilizzati in una serie di processi di semiconduttori e materiali avanzati in cui i wafer devono essere manipolati con precisione durante la fabbricazione.

a. Sistemi MOCVD

• Crescita dei semiconduttori composti basati su GaN, GaAs e InP

• Produzione di LED e diodi laser

• Oggetti e substrati preparati per l'epi

b.Reattori PECVD e LPCVD

• Trasferimento di wafer durante la deposizione di film sottile a base di plasma

• Utilizzato in microelettronica, celle solari, MEMS e fotonica

c.Forni di lavorazione termica

• Fase di ricottura, ossidazione o diffusione ad alta temperatura

d.Ispezione e manipolazione dei wafer

• Sistemi meccanici che sostengono o manipolano temporaneamente le wafer

e.Camere di incisione e di pulizia

• Quando la resistenza chimica è critica durante la prepulizia o lo stripping dei wafer

Domande e risposte

D: Quali sono i fattori chiave da considerare quando si acquistano gli spilli di zaffiro?

A:Scenario di applicazione

• Condizioni materiali: Determinare le condizioni ambientali a cui saranno esposti i perni di sollevamento, quali alte temperature o ambienti corrosivi.
• Scopo: scegliere una progettazione adeguata in base all'applicazione specifica (ad esempio, misurazioni spettroscopiche, strumenti di precisione, ecc.).

Dimensioni e specifiche

• Diametro e lunghezza: Selezionare il diametro e la lunghezza appropriati in base alle dimensioni dei campioni da sostenere o sollevare.
• Requisiti di tolleranza: Assicurarsi che i perni di sollevamento soddisfino i requisiti di tolleranza dimensionale dell'applicazione per mantenere la precisione.

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