Il nero a 6 pollici del wafer di LiTaO3 LiNbO3 polarizzato per la SEGA/BAW 128 gradi di Y Z tagliato

Il nero a 6 pollici del wafer di LiTaO3 LiNbO3 polarizzato per le applicazioni della SEGA/BAW 128 gradi di Y Z tagliato
 

Il monocristallo del niobato di litio (LiNbO3) è un cristallo ferroelettrico con l'alto coefficiente di coppia elettromeccanico e la perdita bassa della propagazione, che possono essere usati per fabbricare i dispositivi della SEGA con la larghezza di banda di fino a 50%. Le proprietà acustiche dell'onda di superficie dei materiali di monocristallo del niobato di litio sono strettamente connesse alla loro direzione della propagazione e di orientamento. Secondo gli angoli di taglio e le direzioni differenti della propagazione, la velocità della propagazione della sega è 3400~4000m/s, il coefficiente di coppia elettromeccanico è 0%~5.6% ed il coefficiente di temperatura è -1.1~-95.6 (10^-6/℃).

Il tantalate del litio (LiTaO3) ha le caratteristiche ottiche piezoelettriche, elettro-ottiche e non lineari e un'ampia gamma della trasparenza che va dall'ultravioletto all'infrarosso. È desiderabile che il wafer LiTaO3 sia stato una superficie regolare per funzionare con buona qualità. La lucidatura meccanica chimica (CMP) è stata usata per planarize i circuiti integrati (CI) o per ottenere un'alta qualità di superficie dei substrati. Questa carta studia l'effetto di acido citrico come additivo nei residui per il CMP LiTaO3. La rugosità dei wafer è stata misurata da una microscopia atomica della forza (AFM, XE-100) dopo la lucidatura. I residui, che contengono l'acido citrico come additivo, hanno una forza più elevata del tasso e di attrito di rimozione del materiale che i residui senza un additivo. Dopo la lucidatura, la rugosità di superficie del wafer LiTaO3 può essere ridotta giù a 1.7A di Ra.

Specificazione caratteristica

Esposizione del wafer LiTaO3 e di LiNbO3

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